- Wafer Laser dicing
- Wafer (Kiru) Blade dicing
- Wafer Grinding – Thinner and smaler – Ultra thin
- Lasermarkierungen
- Wafer reclaim
- Sonderwafer bzw. Waferbearbeitung
– Durchmesser oder Dicke
– Materialeigenschaften: Dotierung / Widerstände
– Strukturen und Geometrie
– besondere Kristallausrichtung (Kippwinkel der Kristallebene)
- Waferträger zum Fixieren oder handling von Standardwafern
– Si-Wafer als Träger
– Einschleifen von bestimmten Durchmessern
– Vertiefungen (Restdicken von 0,25 mm möglich)
– Waferträger aus Quarz oder Keramik
– Less Arm
– Quarz- / Keramikgabeln bzw. Greifer
- Silicium-Ringe (Insert Ringe, Focus Ringe, …) bis 18“ Wafer Anwendungen
- Lochscheiben (Showerheads / Elektroden) bis 18“ Wafer Anwendungen
Haben Sie noch eine weitere Frage oder Spezifikation?
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Wir kümmern uns darum.