Dünnschichten & Oxide

Si-Mat liefert die unterschiedlichsten Wafer. Bei speziellen Anforderungen nehmen Sie bitte gerne Kontakt mit uns auf.

Oxide: Thermische Oxide
Niedertemperatur-Oxide (LTO)
Dickschicht Oxide (>25KA)
PETEOS (Plasma Enhanced Tetraethylorthosilicate)
Nitride: Plasma Nitride
Oxy Nitride (SiON)
LPCVD Nitride
Spezialschichten: Siliciumcarbid
BPSG
Polysilicium
Photolithographische Schicht
Aufschleudertechnik
Kupfer in Damaszenertechnik
Metalle: PVD, CVD und galvanisiert
Ta, TaN, Ti, TiN, TiW, W, WN,
Cu, Al, Al-Cu, Al-Si-Cu
Edelmetalle
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